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荷商艾司摩爾在台設EUV培訓中心 支持最大客戶台積電


艾司摩爾(ASML)EUV全球技術培訓中心8月20日在台灣台南開幕, 左起為艾司摩爾客戶支援部門副總裁戴孫金(左一)、荷蘭在台辦事處副代表貝莉莎( Lisette Hurkmans-Berkers)(左二)、台積電晶圓廠營運王英郎副總經理(左三)、ASML全球副總裁暨台灣區總經理陳文光(左四)、台灣經濟部王美花部長(中)。(艾司摩爾提供照片)

荷蘭半導體製造設備商艾司摩爾(ASML)8月20日於台灣啟用其海外最大的EUV(極紫外光)全球技術培訓中心,該中心的總投資金額為1350萬歐元(約1609萬美元),可以就近為其最大客戶台積電提供技術上支持。該中心座落於台南科學園區,台積電最先進的5奈米廠區,就在10分鐘車程內。

艾司摩爾是世界上唯一有能力製造EUV機台的半導體設備商,晶圓製造廠如台積電、三星,要想生產出最先進的晶片,就得靠著這家荷蘭廠商的設備。過去,台積電、三星的EUV工程師得至荷蘭總部接受數月的培訓,但該培訓中心開幕後,每年能為客戶培養360位EUV技術工程師。

台灣艾司摩爾全球副總裁暨台灣區總經理陳文光在致詞中表示,中心的開幕將為台灣半導體產業提供更完整的服務。(艾司摩爾提供照片)
台灣艾司摩爾全球副總裁暨台灣區總經理陳文光在致詞中表示,中心的開幕將為台灣半導體產業提供更完整的服務。(艾司摩爾提供照片)

艾司摩爾全球副總裁暨台灣區總經理陳文光在開幕典禮致詞時說,該中心不僅讓在台灣的營運和服務項目更多元化,也實現其全力支持客戶先進製程開發與量產的承諾。他強調:“我們一直希望可以更靠近客戶,再加上台積電現在有(全世界)最大的裝機規模,我們認為在這裡訓練工程師有很大的需求。”

陳文光在接受美國之音提問時說:“我們在台灣就一直是會擴大R&D(研發)的。”他更透露,艾司摩爾在未來三年計劃在台南擴大研發中心的投資,將目前280位的研發人員增加至500人。

EUV機台是晶圓製造廠能否維持領先的關鍵之一,每台造價超過一億美元的EUV機台,不僅台積電與三星(Samsung)兩大晶圓廠要爭相搶購,連中國最先進的中芯半導體也盼望取得。2020年,艾司摩爾只計劃出貨35台EUV機台,根據日經亞洲評論報導,其中超過20台會出貨給台積電。

台積電營運副總經理王英郎在致詞時表示,他們一直希望艾司摩爾能在台南設立培訓中心。他說:“(這是)半導體史上最複雜、最精密的機台,因為有這個機台,讓我們的晶片進步很多。”

台灣的經濟部部長王美花接受媒體聯訪時說,歸功於台灣的防疫表現,今年1月至7月外資來台投資已累計440億美元,相較去年同期增加10%,外資投資持續增加。她強調:“特別像艾司摩爾這種設備廠商,或者跟半導體相關的材料廠商,這個都是我們現在要去積極引入外商來台灣(的)投資,讓台灣的半導體的生態系越來越完整。”

蔡英文政府當前的產業政策目標是將台灣打造成“亞洲高階製造中心”與“半導體先進製程中心”。台灣經濟部在今年7月提出計劃,希望透過外商設備在地化,扶植台灣半導體設備與材料產業。

路透社今年1月報導,美國國務卿蓬佩奧(Mike Pompeo)去年曾遊說荷蘭政府,希望荷蘭不要販售半導體設備給中國,不久之後,荷蘭政府停止更新艾司摩爾的出口許可。艾司摩爾未曾公開客戶訊息,但業界公認,下單EUV機台的中國客戶為中芯半導體。

艾司摩爾8月20日提供給美國之音的最新聲明中表示,荷蘭政府仍在審核EUV機台出口中國的許可,目前該公司還無法出貨EUV機台至中國。

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